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欧博体育入口兴芯社取得便于清理蚀刻液的半导体蚀刻设备专利无需对滤网进行拆装即可清洁液

更新时间:2024-11-18点击次数:

  金融界2024年11月15日消息,国家知识产权局信息显示,兴芯社(重庆)电子设备有限公司取得一项名为“一种便于清理蚀刻液的半导体蚀刻设备”的专利,授权公告号CN 221999036 U,申请日期为2024年3月。

  专利摘要显示,欧博体育本实用新型提供一种便于清理蚀刻液的半导体蚀刻设备,属于蚀刻液回收技术领域。包括蚀刻机主体、滤网、导流台以及回流管,蚀刻机主体的下方内部水平安装滤网,滤网设置在回流管的下方滤网的两侧上方分别设有推动板、阻隔板,推动板与阻隔板彼此间隔对称分布,推动板沿滤网的上表面朝向阻隔板滑行,欧博体育推动板的底部内嵌有伸缩板,伸缩板与推动板弹性连接。回流管与蚀刻机主体台面上的的蚀刻液出液口连接。该便于清理蚀刻液的半导体蚀刻设备,无需对滤网进行拆装即可进行清洁作业,而蚀刻液清理后继续流动从排放腔中排出,整体作业流畅度高,对于蚀刻液的清洁效果好。

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欧博体育入口兴芯社取得便于清理蚀刻液的半导体蚀刻设备专利无需对滤网进行拆装即可清洁液(图1)

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