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News Center金融界2024年11月15日消息,国家知识产权局信息显示,兴芯社(重庆)电子设备有限公司取得一项名为“一种便于清理蚀刻液的半导体蚀刻设备”的专利,授权公告号CN 221999036 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,欧博体育本实用新型提供一种便于清理蚀刻液的半导体蚀刻设备,属于蚀刻液回收技术领域。包括蚀刻机主体、滤网、导流台以及回流管,蚀刻机主体的下方内部水平安装滤网,滤网设置在回流管的下方滤网的两侧上方分别设有推动板、阻隔板,推动板与阻隔板彼此间隔对称分布,推动板沿滤网的上表面朝向阻隔板滑行,欧博体育推动板的底部内嵌有伸缩板,伸缩板与推动板弹性连接。回流管与蚀刻机主体台面上的的蚀刻液出液口连接。该便于清理蚀刻液的半导体蚀刻设备,无需对滤网进行拆装即可进行清洁作业,而蚀刻液清理后继续流动从排放腔中排出,整体作业流畅度高,对于蚀刻液的清洁效果好。
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